一、概述

滑閥泵有H、MH型，雙級(jí)2H型，廣泛用于制藥、電子、冶煉、陶瓷、航空、實(shí)驗(yàn)室等多種場(chǎng)合，真空鍍膜、真空干燥、真空脫氣、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空濃縮、真空反應(yīng)、真空模擬實(shí)驗(yàn)等真空作業(yè)上?？蓡为?dú)使用，可作為羅茨泵、油擴(kuò)散泵、分子泵等高真空泵的前級(jí)泵。

二、滑閥泵結(jié)構(gòu)與工作原理

1、滑閥泵中，與泵腔同心的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)偏心輪旋轉(zhuǎn)偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動(dòng)滑閥環(huán)運(yùn)動(dòng)，使滑閥桿在導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)。

2、滑閥將泵腔分成A、B兩個(gè)部分。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)滑閥桿A腔一側(cè)的開口進(jìn)入A腔，此時(shí)處于吸氣過程。

3、當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)(圖c中)，A腔容積達(dá)最大，此時(shí)進(jìn)氣口與A腔隔絕，完成吸氣過程;B腔容積減小，壓縮氣體。

4、當(dāng)B腔內(nèi)氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)排氣終了。 

三、內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖析

四、滑閥真空泵特點(diǎn)

滑閥式真空泵與體積和轉(zhuǎn)速相同的其他型式的泵相比，由于滑閥體尺寸較小，抽速較大。但由于滑閥桿擺動(dòng)的幅度很大，這種結(jié)構(gòu)只使用于小型泵。在實(shí)際產(chǎn)品中，均采用以滑閥桿與滑閥環(huán)做成一體的結(jié)構(gòu)。

滑閥泵出口處應(yīng)設(shè)置油霧捕集器，用以捕集和回收由排氣閥排除的混在被抽氣體中的油滴，既可以節(jié)省泵油，又可以減少對(duì)環(huán)境的污染。